真空碳管炉由炉身、炉盖、真空系统、电气系统和水冷系统等部分组成。炉身采用水冷夹层结构。

    炉盖可以借弹簧力开启。炉体上设有二个观察窗，可以观察工件加热的情况。炉内装有石墨电极，它是由互相绝缘的两个半圆组成的与石墨发热体在其纵向开了数条细封，以增加电阻，并使发热体可以一端通电，而另外一端在加热时允许自由的膨涨。

发热体的周围有多层隔热屏装置，其组装在一起便于取出炉外。

真空系统是由扩散泵、机械泵以及真空阀等组成。真空的测量采用热偶真空计和电离真空计。电气系统由可控硅电压调整器、低电压变压器及控制柜所组成。