CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成，大温度可以达到1200度，可以是单温区、双温区、三温区等，真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
 

　　CVD管式炉产品特点：
 

　　1、控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
 

　　2、气路快速连接法兰结构采用本公司知识产权设计,提高操作便捷性。
 

　　3、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。

　　CVD管式炉使用注意事项：
 

　　1、冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。
 

　　2、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。
 

　　3、使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。
 

　　4、炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。