一、CVD管式炉产品应用

  CVD管式炉主要用于石墨、陶瓷、锂电池、稀有金属、稀土、生物材料等在气氛保护下进行烧结、镀膜、热处理、灰分测定等，也适用于石墨烯、碳纳米管、二硫化钼等二维材料的制备。

二、CVD管式炉产品特点

1、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，呈现温场均衡、表面温度低、升温速率快、节能等优点;

2、电热元件采用进口高电阻合金丝，表面负荷高，发热速度快;

3、炉体两端采用铰链结构的不锈钢密封法兰，方便操作、耐高温、耐腐蚀;

4、保护管采用高纯石英管、耐温1150℃;

5、加热区长度达400mm,温场更均匀;

6、左右两端采用气动支撑杆，方便上炉体的开启;

7、密封性好，配合扩散泵或分子泵，炉子真空度可达10-3pa;

8、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度;

9、炉体整体安装四个万向轮，方便整体移动;

10、采用程序控温系统可编辑30段程序控温，控温精度±1℃，移相触发、可控硅控制;

三、CVD管式炉技术参数

1200℃（电阻丝）